INFICON PSG400 产品详情

产品概述

INFICON PSG400 是一款广泛应用于真空测量领域的皮拉尼真空规。它以其可靠性、精度和易用性而闻名，常用于各种真空系统中，如半导体制造、真空镀膜、科研等。

主要特点

• 宽测量范围: PSG400通常具有较宽的测量范围，可以覆盖从粗真空到中真空的压力范围。
• 高精度: 通过精确测量气体分子对加热丝的冷却效应，实现高精度的压力测量。
• 快速响应: 响应速度快，能够实时监测真空系统的压力变化。
• 结构紧凑: 设计紧凑，安装方便。
• 耐用性强: 采用耐腐蚀材料，适用于各种工况。

工作原理

皮拉尼真空规的工作原理是基于热传导原理。当气体分子撞击加热的金属丝时，会带走热量，导致金属丝的温度下降。通过测量金属丝的电阻变化，可以计算出真空室内的压力。

应用领域

• 半导体制造: 用于真空镀膜、离子注入等工艺过程中的真空度测量。
• 真空镀膜: 用于监控镀膜过程中的真空度。
• 科研实验: 用于各种真空实验，如材料科学、物理学等。
• 真空包装: 用于检测真空包装的密封性。