AGILENT HP 5517B 激光干涉仪 高精度测量系统 适用于CNC机床校准

描述

AGILENT HP 5517B 激光干涉仪 高精度测量系统 适用于CNC机床校准

AGILENT HP 5517B是安捷伦科技（现Keysight Technologies）推出的一款高稳定性氦氖激光干涉仪，专为工业领域的精密测量应用设计。该激光头作为HP/Agilent 5517系列激光干涉测量系统的核心组件之一，广泛用于数控机床（CNC）、三坐标测量机（CMM）、自动化装配平台、机器人定位系统的几何误差测量与动态误差补偿。

其具备波长稳定性高（优于±0.02 ppm）、内置热电冷却系统（TEC）和双频输出（参考光+测量光），确保在不同环境条件下仍能提供一致且精确的测量结果。该系统支持多种光学配置，包括线性位移、角度偏差、垂直度、直线度、平面度等多种几何误差的测量。

AGILENT HP 5517B产品概述

AGILENT HP 5517B是一款高性能、固定式安装的双频氦氖激光干涉仪发射器，属于Agilent（现Keysight）公司经典的5517系列激光干涉测量系统中的核心光源模块。该激光头通常与5517B接收器、干涉镜组、反射镜、控制器和软件系统搭配使用，构成完整的激光干涉测量系统，广泛应用于制造业中的高精度几何误差检测。

这款激光头采用稳频HeNe激光器，工作波长为633 nm（红光），具备极高的波长稳定性和抗干扰能力。其内部集成了热电冷却装置（TEC）和频率锁定电路，可有效减少因温度变化导致的波长漂移，从而提升测量系统的整体精度和重复性。

HP 5517B支持多种测量模式：

✅线性位移测量

✅角度偏转测量

✅直线度误差检测

✅垂直度和平面度测量

✅动态响应测试（如伺服误差、反向间隙）

该激光系统是ISO 230-6（机床动态精度检测）和ASME B5.54等国际标准推荐使用的测量工具，特别适用于需要达到微米甚至亚微米级精度的高端制造场景。

主要特点和优势

AGILENT HP 5517B在设计与性能上充分考虑了工业现场对高精度、高稳定性与易集成性的多重需求：

🔬波长稳定性高：±0.02 ppm，保障测量数据的长期一致性；

🔧内置TEC恒温控制：减少环境温度波动对波长的影响；

🧪双频输出结构：支持参考光与测量光同时输出，实现差分测量；

⚙️即插即用接口设计：便于与控制器及光学组件快速连接；

🌐兼容性强：可配合各种品牌干涉镜、反射镜及测量软件使用；

💡抗振动能力强：适合在车间环境中进行现场测量；

🛡️安全防护等级高：Class IIIb激光等级，配有光闸保护；

📊支持实时动态误差分析：可用于伺服响应、加速度误差评估；

🔄模块化设计：便于维护升级，延长使用寿命；

📈支持第三方软件集成：如Renishaw QC20-W、Optodyne MCV、KMotion等。

The AGILENT HP 5517B laser head is a high-performance interferometry solution designed for precision measurement applications in manufacturing,aerospace,and semiconductor industries.With its superior wavelength stability and robust thermal control system,it ensures accurate and repeatable measurements across a wide range of environments.

Whether used for CNC machine calibration,coordinate measuring machine verification,or robotic positioning error analysis,the HP 5517B delivers consistent performance and long-term reliability,making it an essential tool for quality assurance and process optimization.

AGILENT HP 5517B技术规格

参数名称参数值

产品型号AGILENT HP 5517B

制造商Keysight Technologies(原Agilent)

产品类型HeNe激光干涉仪发射器

激光波长632.991 nm（可见红光）

输出功率≥1.0 mW

波长稳定性±0.02 ppm

激光等级Class IIIb

冷却方式热电冷却（TEC）

电源输入12V DC（需专用适配器）

光学接口FC/APC或自由空间输出

外形尺寸约150 x 70 x 60 mm

工作温度15°C至40°C

存储温度-40°C至+70°C

应用领域

AGILENT HP 5517B广泛应用于以下高精度测量与校准任务中：

📌数控机床（CNC）几何误差校准：如线性定位误差、反向间隙、垂直度等；

📌三坐标测量机（CMM）验证：用于确认设备的空间测量精度；

📌机器人路径精度检测：如六轴协作机器人、SCARA机器人的重复定位误差；

📌半导体制造设备定位系统校准：如晶圆搬运平台、曝光系统；

📌航空航天制造质量控制：如飞机部件加工中心、大型龙门铣床；

📌科研实验室精密测量：高校、研究院所的纳米级实验平台；

📌汽车制造质量检测：用于发动机缸体加工机床、齿轮加工设备的精度验证；

📌医疗器械制造设备校准：如植入物加工设备、显微手术器械加工平台。

此外，该激光头还可与Renishaw XC-80补偿单元、Keysight 5501B控制器、PC端软件（如LaserJet Pro、LaserAlign、MATLAB接口）等配套使用，构建完整的测量与数据分析平台。

相关产品

Keysight 5501B控制器：与HP 5517B激光头配套使用的信号处理单元；

Keysight 5517A：与5517B类似，但为非冷却版本，适用于常温实验室环境；

Keysight 5517C/D/E：更高稳定性的版本，适用于极端环境或超精密测量；

Renishaw XL-80：便携式激光干涉仪系统，功能类似HP 5517B；

API RMC系列激光干涉仪：另一种常见替代方案，支持动态误差测量；

HP 10706A/10706B光学镜组：含干涉镜、角锥反射镜，用于搭建测量光路；

Keysight LaserJet Pro软件：用于数据采集、分析与报告生成；

Keysight 5501A移动平台：用于现场机床校准，提高测量效率；

Keysight 5501C真空附件套件：用于真空环境下激光测量；

Keysight 5501D环境补偿包：含气压、湿度、温度传感器，提升测量精度。