AMAT 0040-76470 真空压力传感器

描述

AMAT 0040-76470 真空压力传感器

AMAT 0040-76470是由Applied Materials（应用材料公司）提供的一款真空压力传感器模块，广泛应用于其半导体制造设备中，如Centura、Endura、Producer等平台。该传感器主要用于监测工艺腔体内的真空状态，确保薄膜沉积、蚀刻、溅射等关键工艺在规定的压力范围内进行。

该模块具备量程范围：0~1000 Torr（可根据需求调整），输出信号：4-20mA，供电电压：24V DC，并采用IP65防护外壳和标准MRC通信接口，便于集成到自动化控制系统中。其设计兼顾了高精度、长寿命和耐腐蚀性，适合在高纯度气体环境及频繁抽真空的应用场景中使用。

AMAT 0040-76470产品概述

AMAT 0040-76470是一款专为应用材料公司（Applied Materials）制造的半导体设备配套使用的真空压力传感器，属于其MRC系列（Materials Research Corporation）的标准配件之一。该传感器通常被安装于反应腔室入口或真空泵连接管道中，实时监测系统内部的压力变化，并将数据反馈给主控系统以实现闭环控制。

该传感器采用压阻式或电容式传感元件，具备良好的线性度和重复性，能够在极端真空条件下（低至10⁻³Torr）保持稳定的测量性能。外壳采用不锈钢材质，具备优良的抗腐蚀性和气密性，适合在含有微量酸碱气体或高纯度工艺气体的环境中长期运行。

AMAT 0040-76470可兼容多种工艺模块，包括但不限于：

PVD（物理气相沉积）

CVD（化学气相沉积）

Dry Etch（干法刻蚀）

RTP（快速热处理）

其标准化的电气接口与机械安装方式，使其成为众多AMAT设备用户首选的替换与维护组件。

主要特点和优势

AMAT 0040-76470在设计上充分考虑了半导体制造对高洁净度、高稳定性与可维护性的严格要求，具备以下核心优势：

✅宽量程测量：支持从大气压到中高真空范围的连续监测；

✅高精度输出：±0.5%FS以内，适用于精密工艺控制；

✅耐腐蚀结构：不锈钢外壳+隔膜密封设计，适用于多种工艺气体；

✅防爆与防火设计：满足ATEX、UL等国际安全认证；

✅IP65防护等级：有效防止灰尘和液体侵入，适应复杂车间环境；

✅标准MRC接口：易于更换与调试，兼容性强；

✅长使用寿命：经过多次真空循环测试，可靠性高；

✅快速响应时间：毫秒级响应，保障工艺过程实时监控；

✅带诊断功能：部分版本支持故障报警与自检机制。

The AMAT 0040-76470 is a high-performance vacuum pressure sensor designed for integration into semiconductor manufacturing equipment from Applied Materials.With its precise measurement capability and robust mechanical design,it ensures reliable process control in deposition,etching,and thermal treatment applications.

Its compatibility with the MRC communication protocol and standard mounting interface makes it an ideal choice for both OEM installations and field replacements.Whether used in cleanroom environments or industrial semiconductor fabs,this sensor delivers consistent performance and long-term durability.

AMAT 0040-76470技术规格

参数名称参数值

产品型号AMAT 0040-76470

制造商Applied Materials/MRC

产品类型真空压力传感器/Vacuum Transducer

适用设备Centura、Endura、Producer、Reflexion等

测量范围0~1000 Torr（可定制）

输出信号4-20 mA

供电电源24V DC

接口类型标准MRC电气接口

安装方式法兰连接（CF/KF/F45等）

材质不锈钢（SUS304/SUS316L）

防护等级IP65

工作温度-20°C至+85°C

存储温度-40°C至+100°C

认证标准CE、UL、ATEX、SEMI S23

应用领域

AMAT 0040-76470广泛应用于以下工业与科研领域中的真空压力监测任务：

📌半导体制造：用于PVD、CVD、Dry Etch、RTP等设备的真空腔体监测；

📌LED/OLED生产：适用于蒸镀、封装等工艺中的真空控制；

📌太阳能光伏行业：用于薄膜沉积设备的真空环境管理；

📌科研实验室：高校与研究院所的真空实验装置配套；

📌光学镀膜：电子束蒸发、溅射镀膜系统的压力采集；

📌医疗设备：质谱仪、电子显微镜等分析仪器的压力检测模块。

此外，该传感器还可与AMAT MRC控制器、DCS系统、PLC系统等配合使用，构建完整的真空工艺自动控制解决方案。

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