AMAT 0190-34100 真空压力传感器 半导体设备核心传感器

描述

AMAT 0190-34100 真空压力传感器 半导体设备核心传感器

第二部分：产品简要说明

AMAT 0190-34100真空压力传感器：该传感器是应用材料公司（Applied Materials）制造的专用真空检测模块，广泛应用于AMAT Centura、Producer、Endura等半导体制造设备的真空工艺腔室中。AMAT 0190-34100具备高精度、高稳定性、快速响应等优点，支持从高真空到粗真空的宽范围压力测量，确保工艺过程的稳定性和重复性。该传感器采用标准化接口，兼容性强，易于安装与维护，是半导体制造设备中不可或缺的关键组件。

第三部分：产品详细说明

AMAT 0190-34100产品概述

AMAT 0190-34100真空压力传感器是一款专为半导体制造设备设计的高精度真空检测模块，主要用于应用材料公司（Applied Materials）旗下的Centura、Endura、Producer等系列设备的真空工艺腔室中。该传感器用于实时监测腔室内气体压力，确保在CVD（化学气相沉积）、PVD（物理气相沉积）、蚀刻、溅射等关键工艺中维持精确的真空条件。

AMAT 0190-34100采用先进的压力传感技术，具备宽量程测量能力，可覆盖从大气压至10^-3 Torr的真空范围，适用于多种真空工艺场景。其设计符合半导体制造设备对高精度、高可靠性的严格要求，能够长时间稳定运行于高温、高腐蚀性气体环境中，是保障设备正常运行和工艺质量的关键组件之一。

主要特点和优势

AMAT 0190-34100真空压力传感器具备多项技术优势，使其在半导体制造领域表现优异：

高精度测量：提供高分辨率的压力检测，确保工艺参数的精确控制。

宽量程范围：适用于从粗真空到高真空的多种工艺环境，测量范围广。

快速响应：具备毫秒级响应时间，可实时反馈腔室压力变化，提升工艺稳定性。

耐高温耐腐蚀：传感器材料具备优异的抗腐蚀性，适用于多种工艺气体（如NH3、Cl2、CF4等）。

模块化设计：安装简便，便于维护和更换，减少设备停机时间。

兼容性强：与AMAT设备系统无缝集成，支持多种控制接口与信号输出方式（如4-20mA、0-10V等）。

长期稳定性：采用高质量传感器元件，确保在长时间运行中保持测量精度。

技术规格

参数名称参数值

产品型号AMAT 0190-34100

制造商Applied Materials（应用材料公司）

产品类型真空压力传感器模块

测量范围1000 Torr至0.001 Torr

输出信号4-20 mA/0-10 V（视型号而定）

供电电压24V DC

接口类型标准真空法兰+电气连接器

材质不锈钢/陶瓷/硅基传感器

工作温度-20°C至+85°C

防护等级IP54（防尘防水）

兼容设备AMAT Centura、Endura、Producer等

应用领域

AMAT 0190-34100真空压力传感器广泛应用于以下工业与制造场景：

半导体制造：用于AMAT Centura、Endura等设备的真空腔室压力检测，确保CVD、PVD、蚀刻等工艺的稳定性。

平板显示（FPD）制造：适用于TFT-LCD、OLED等显示面板的真空沉积工艺。

光伏制造：用于太阳能电池薄膜沉积工艺中的真空控制。

科研真空系统：用于实验室真空设备、研究型腔室的压力测量与控制。

LED制造：在MOCVD等工艺中监测反应腔压力，确保外延生长质量。

航空航天与科研：用于高精度真空环境的监测与控制。

相关产品

AMAT 0190-34000：同系列真空传感器，测量范围略有不同，适用于特定工艺需求。

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AMAT 0190-34100传感器电缆组件：配套连接线缆，确保信号稳定传输。

AMAT 0190-34100安装支架与法兰组件：便于安装与更换。

AMAT 0190-34100校准工具包：用于定期校准，确保测量精度。

主营品牌： 

ABB、GE、FOXBORO、EMERSON、TRICONEX、XYCOM、WAGO、BENTLY、ROCKWELL、Allen-Bradley、NI、YOKOGAWA、HONEYWELL、RELIANCE、SCHNEIDER、MODICON、Westinghouse、WOODWAED、Motorola、Rexroth等各大品牌的DCS系统配件，机器人系统配件，大型伺服系统备件。（专业停产配件，原装进口，原厂正品）

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