LAM  839-101612-885  工业空气滤芯 原装正品现货 适用于LAM真空泵系统

描述

LAM  839-101612-885  工业空气滤芯 原装正品现货 适用于LAM真空泵系统

LAM 839-101612-885：该型号是LAM Research（泛林集团）生产的用于其真空泵及排气系统中的高效过滤器滤芯，主要应用于半导体制造、液晶面板（LCD/OLED）、光伏等高端电子制造设备中。该滤芯采用多层复合介质结构，可高效过滤气体中的微粒、油雾、金属粉尘和化学残留物，确保真空系统的清洁度与稳定性。适用于LAM的VAC系列真空泵系统，具有耐高温、抗腐蚀、低阻力、高纳污量等特点。

LAM 839-101612-885产品概述

LAM 839-101612-885是LAM Research公司为其高端半导体制造设备配套开发的一款专用真空泵排气过滤器滤芯，广泛应用于薄膜沉积（CVD/PVD）、蚀刻（Etch）、清洗（Clean）等关键制程设备中。该滤芯主要用于捕获真空泵排气中携带的微米级颗粒、油雾、金属粉尘及酸性气体副产物，防止对洁净室环境和后续处理设备造成污染或损坏。

该滤芯采用了高性能玻纤+活性炭复合滤材，具备良好的吸附性和机械强度，能够在高温（可达150°C）和腐蚀性气体环境下长期稳定运行。其结构设计紧凑，安装方式标准化，适配LAM多种真空泵型号，如VAC系列泵组。滤芯外壳采用高强度铝合金或不锈钢材质，具有优异的抗压性和密封性，确保在高压差条件下仍能保持高效过滤性能。

此外，LAM 839-101612-885在出厂前经过严格的泄漏测试与流量验证，确保其在实际应用中具备稳定的过滤效率和较长的使用寿命。它不仅有助于保护真空泵本体免受污染堵塞，还能有效降低排气口的颗粒浓度，满足ISO Class 1~3级别的洁净要求。

主要特点和优势：

✅高效过滤性能：多层滤材结构，可去除≥0.1μm以上的颗粒，过滤效率高达99.99%。

✅耐高温设计：可在150°C以下长时间工作，适应高温工艺环境。

✅抗化学腐蚀：适用于含酸碱、有机溶剂等腐蚀性气体的排气处理。

✅低压力损失：优化气流通道设计，减少系统能耗，提高泵效。

✅模块化安装：标准接口，便于快速更换，缩短设备停机时间。

✅环保合规：符合RoHS指令，支持安全处置与回收利用。

✅原厂匹配性：完全适配LAM真空泵系统，确保兼容性与可靠性。

The LAM 839-101612-885 is a high-efficiency particulate and vapor filter element specifically designed for use in LAM vacuum pump systems within semiconductor and advanced electronics manufacturing environments.It combines advanced fiber media with activated carbon filtration to capture sub-micron particles,oil mist,and chemical vapors from process exhaust gases.

Built with durable aluminum or stainless steel housing,the LAM 839-101612-885 ensures long service life even under high-temperature and corrosive conditions.Its low-pressure-drop design enhances system efficiency while maintaining ultra-clean exhaust air that meets stringent cleanroom standards.This filter element plays a critical role in protecting both equipment performance and operator safety by preventing contamination of downstream components and ambient workspaces.

LAM 839-101612-885技术规格

参数名称参数值

产品型号LAM 839-101612-885

制造商LAM Research（泛林科技）

产品类型真空泵排气过滤器滤芯

过滤等级≥0.1μm 99.99%效率

材质构成玻璃纤维+活性炭复合滤材

外壳材质铝合金/不锈钢

工作温度范围最高可达150°C

适用系统LAM VAC Series真空泵

排气方向径向/轴向出气（视具体型号）

尺寸规格标准工业尺寸（可根据需求提供图纸）

认证标准CE、RoHS、ISO 9001

应用领域

LAM 839-101612-885主要应用于以下高科技制造行业：

半导体制造：用于晶圆蚀刻、沉积、离子注入等设备的真空泵排气净化。

液晶显示（LCD/OLED）：用于面板蒸镀、干法刻蚀等工艺过程的废气过滤。

光伏产业：用于硅片清洗、薄膜沉积等环节的真空系统保护。

LED封装：用于MOCVD设备的排气处理，防止金属粉尘积聚。

科研实验室：用于高真空实验装置的尾气净化，保障操作人员健康。

医疗设备：用于高纯度真空系统的排气处理，避免交叉污染。

相关产品

LAM 839-101612-886：同系列替换滤芯，适用于不同泵型配置。

LAM VAC Pump System：配套真空泵主机平台，839-101612-885为其标准排气滤芯。

LAM 839-101612-884：前置预过滤器，用于拦截大颗粒杂质。

LAM 839-101612-887：后置活性炭吸附滤芯，用于气体异味去除。

LAM 839-101612-888：HEPA高效过滤器，用于洁净室末端净化。

LAM 839-101612-889：油雾分离器，专门用于油封泵油雾回收。

LAM 839-101612-890：耐酸碱化学过滤器，适用于强腐蚀性气体处理。

LAM Filter Housing Assembly：滤芯安装支架组件，用于固定与密封。

LAM Maintenance Kit：包含多种滤芯、密封圈、工具包的标准维护套件。

LAM OEM Replacement Parts：原厂授权替换配件，保障设备兼容性。

安装与维护建议