ZYGO   4104C 激光干涉测量传感器 亚纳米级精度 工业检测新标杆

描述

ZYGO   4104C 激光干涉测量传感器 亚纳米级精度 工业检测新标杆

ZYGO 4104C：这款非接触式激光干涉探头是用于精密几何测量的核心设备。支持平面度、位移、厚度等多种参数测量，测量范围：±5mm，分辨率：0.1nm（典型值），光源类型：He-Ne激光器。适用于光学元件、半导体晶圆、精密模具等高端制造领域的质量控制。凭借其出色的稳定性和重复性，4104C成为科研机构和先进制造企业信赖的选择。

第三部分：产品详细说明

4104C产品概述

ZYGO 4104C是美国ZYGO公司推出的一款标准型非接触式激光干涉测量探头，属于其Nexview™和NewView™系列激光干涉仪系统的配套核心组件之一。该探头专为高精度表面形貌分析设计，广泛应用于光学加工、半导体制造、精密机械等领域。作为ZYGO激光干涉测量系统的重要组成部分，4104C能够在不接触被测物体的前提下，实现亚纳米级的位移与形貌测量。

这款探头采用经典的Michelson干涉结构，内置He-Ne激光器，波长稳定，抗环境干扰能力强。其镜头可适配多种物镜倍率，配合多轴扫描平台使用时，能够快速获取大视场下的三维表面轮廓信息。无论是静态还是动态测量，ZYGO 4104C都能提供高度一致且可重复的数据结果。

此外，4104C设计紧凑，便于集成到各类测量系统中，特别适合嵌入式自动化检测平台。用户可通过ZYGO自主开发的Mx™软件进行数据采集与分析，操作直观、功能强大。无论是在实验室环境还是生产线上，ZYGO 4104C都展现出卓越的性能与可靠性。

主要特点和优势

ZYGO 4104C的最大优势在于其非接触测量特性，这使得它能够在不损伤样品的情况下完成高精度检测，尤其适用于易碎或柔软材料（如光学玻璃、硅片、薄膜等）的表面分析。同时，该探头具备极高的测量分辨率——可达0.1nm（典型值），远超传统接触式传感器。

其干涉测量原理确保了数据的高重复性和低漂移误差，非常适合用于校准或长期监测任务。例如，在光学元件制造过程中，4104C可用于评估镜片表面的微小缺陷和平整度偏差；而在半导体行业中，它则常用于晶圆翘曲度和台阶高度的测量。

值得一提的是，4104C支持多种物镜接口，用户可根据实际需求选择不同放大倍率的物镜（如10×、20×、50×等），从而兼顾测量精度与视场范围。这种灵活性大大拓展了其应用边界。

此外，该探头还具备良好的环境适应性，能在标准实验室或轻度振动环境下保持稳定运行。模块化的设计也使其维护和更换更加便捷，减少了停机时间，提升了整体效率。

英文内容补充：

The ZYGO 4104C is a high-performance non-contact laser interferometry probe designed for precision surface metrology in demanding industrial and research environments.As part of the Nexview and NewView series,it delivers sub-nanometer resolution and exceptional repeatability,making it ideal for applications such as optical component evaluation,semiconductor wafer analysis,and precision machining quality control.

Featuring a Michelson interferometer configuration with a stabilized He-Ne laser source,the 4104C ensures accurate displacement and topography measurements without physical contact—minimizing risk to sensitive or fragile samples.Its modular design allows seamless integration into both manual and automated measurement systems,while compatibility with multiple objective lenses provides flexibility in balancing field-of-view and resolution.

With support for advanced data acquisition via ZYGO’s Mx software platform,the 4104C offers intuitive operation and comprehensive analysis capabilities.Whether used in R&D labs or production lines,this probe sets a new standard for precision,reliability,and ease of use in optical metrology.

Designed for long-term stability and minimal drift,the ZYGO 4104C is suitable for critical calibration tasks and continuous monitoring applications.Its robust construction and environmental tolerance ensure consistent performance even in dynamic industrial settings.

4104C技术规格

参数名称参数值

产品型号4104C

制造商ZYGO Corporation

产品类型激光干涉测量探头/非接触式传感器

测量原理Michelson干涉法

激光波长632.8 nm(He-Ne)

测量范围±5 mm

分辨率0.1 nm（典型）

最大扫描速度2 mm/s

探头尺寸φ76 mm×150 mm

电源要求+12V DC

接口类型USB 3.0、RS-232

工作温度范围18°C至26°C

相对湿度范围<60%RH（无冷凝）