Lam Research 810-099175-011
Lam Research 810-099175-011产品详情
概述
Lam Research 810-099175-011是一款运动控制器模块,由美国Lam Research公司生产。它适用于蚀刻机,用于控制蚀刻机的运动系统。
主要特点
**高精度:**可提供高精度的运动控制,满足蚀刻工艺的要求。
**高可靠性:**采用可靠的设计和制造工艺,确保长期稳定运行。
**易于维护:**提供易于维护的结构和接口。
技术规格
控制精度:<1µm
速度:<1 m/s
加速度:<10 m/s²
**通信接口:**RS-232、RS-485
**防护等级:**IP54
**工作温度:**0°C至+60°C
**尺寸:**146 mm x 89 mm x 30 mm
**重量:**约0.5 kg
应用领域
Lam Research 810-099175-011运动控制器模块适用于各种蚀刻机应用,包括:
**硅晶圆蚀刻:**用于控制硅晶圆蚀刻机的运动系统。
**化合物半导体蚀刻:**用于控制化合物半导体蚀刻机的运动系统。
**其他蚀刻应用:**用于其他蚀刻应用。